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真(zhen)空計量泵泵(bèng)的選用

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1、真空泵(beng)的工作壓強(qiang)應該滿足真(zhēn)空設備的極(jí)限真空及工(gōng)作壓強要求(qiu)。如:真空鍍膜(mo)要求1×10-5mmHg的真空(kong)度,選用的真(zhen)空泵的真空(kōng)度至少要5×10-6mmHg。通(tong)常選擇泵的(de)真空度要高(gāo)于真空設備(bei)真空度半個(ge)到一個數量(liang)級。

  2、正确地選(xuǎn)擇真空泵的(de)工作點。每種(zhong)泵都有一定(dìng)的工作壓強(qiang)範圍,如:擴散(san)泵為10-3~10-7mmHg,在這樣(yang)寬壓強範圍(wei)内,泵的🔞抽速(su)随壓強而變(biàn)化,其穩定的(de)工作壓強範(fàn)圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵(beng)的工💞作點應(yīng)該選在這個(ge)範👈圍之内,而(ér)不能讓它在(zai)10-8mmHg下長期工作(zuo)。又如钛升華(huá)泵可以在10-2mmHg下(xià)工💃🏻作,但其工(gong)作壓強應小(xiao)于♉1×10-5mmHg為好。

  3、真空(kong)泵在其工作(zuò)壓強下,應能(neng)排走真空設(shè)備工藝過❄️程(cheng)中産生的全(quán)部氣體量。

  4、正(zheng)确地組合真(zhēn)空泵。由于真(zhēn)空泵有選擇(zé)性抽氣,因✍️而(ér),有時選☎️用🚩一(yi)種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求(qiú),需要幾種泵(bèng)組合起來,互(hu)相補🔴充才能(néng)滿足抽氣要(yao)求。如钛升華(hua)泵對氫有很(hen)高的抽速,但(dan)不能抽氦,而(er)三極型濺射(she)離子泵,(或二(er)極型非對稱(cheng)陰極濺射離(lí)子泵)對氩有(you)一定的抽速(su),兩者組合起(qǐ)來,便會使💋真(zhēn)空裝置得到(dao)較好的真空(kong)度。另外,有的(de)真空泵不能(néng)在大氣壓下(xia)工作,需🚶要預(yù)真⛹🏻‍♀️空;有的真(zhēn)空泵出口壓(yā)強低于大氣(qì)壓,需要前級(jí)泵,故都需要(yào)把泵組合起(qǐ)來使用。

  5、真空(kōng)設備對油污(wū)染的要求。若(ruò)設備嚴格要(yao)求無油時,應(ying)該選各種無(wu)油泵,如:水環(huan)泵、分子篩吸(xi)附泵、濺射離(lí)子泵、低溫泵(bèng)等。如果要求(qiu)不嚴格,可以(yǐ)選擇有油泵(bèng),加💯上一些防(fang)油污染措施(shi),如加冷阱、障(zhang)闆、擋油✨阱等(deng),也能達到清(qīng)潔真空要求(qiú)。

  6、了解被抽氣(qì)體成分,氣體(ti)中含不含可(kě)凝蒸氣,有無(wú)顆🧑🏾‍🤝‍🧑🏼粒灰塵🏃🏻‍♂️,有(you)無腐蝕性等(děng)。選擇真空泵(bèng)時,需要知道(dao)氣體成分,針(zhēn)對被抽氣體(ti)選擇相應的(de)泵。如果氣體(ti)中含有🤟蒸氣(qi)、顆粒、及腐蝕(shí)性氣體,應該(gai)考慮在泵的(de)進氣口管路(lu)上安裝輔助(zhù)設備🙇🏻,如冷凝(níng)器、除塵器等(deng)。

  8、真空泵工(gong)作時産生的(de)振動對工藝(yi)過程及環境(jìng)有無影響。若(ruo)♉工♊藝過程不(bú)允許,應選擇(ze)無振動的泵(bèng)或✍️者采取防(fáng)振動措施。

  9、真(zhēn)空泵的價格(gé)、運轉及維修(xiu)費用。


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